Fyzikální a technologický ústav RAS

Institute of Physics and Technology ( FTIAN ) je ústav oddělení nanotechnologií a informačních technologií Ruské akademie věd .

Od května 2017 je ředitelem Fyzikálního a technologického ústavu - člen korespondent Ruské akademie věd, doktor fyzikálních a matematických věd Vladimír Fedorovič Lukičev .

Vědecké divize

• Laboratoř matematického modelování fyzikálních a technologických procesů v mikroelektronice (MMFTPM)
• Laboratoř mikrostrukturování a submikronových zařízení (MSSP)
• Laboratoř submikronové litografie (SL).
• Laboratoř fyziky povrchů a mikroelektronických struktur (FPMS)
• Laboratoř fyzikálních základů kvantového počítání

Projekty a výzkum

• Technologie iontového paprsku
• Plazma-chemické leptání je technologie pro vytváření prvků MEMS a NEMS

Historie FTIAN

Vytvořeno v roce 1988 na základě oddělení mikroelektroniky Ústavu obecné fyziky Akademie věd SSSR .

Dříve byli řediteli ústavu: akademik Kamil Achmetovič Valijev a akademik Orlikovskij Alexandr Aleksandrovič , který jej v této funkci nahradil v roce 2005 .

Viz také

• Jaroslavl pobočka Ústavu fyziky a technologie RAS

Odkazy

• Ústav fyziky a technologie (FTIAN)
• Ústav fyzikálních a technologických problémů mikroelektroniky na bázi Fyzikálně-technologického ústavu