Získávání

Gettering  je proces navázání do neutrálních asociací mobilních, nežádoucích nečistot a defektů na rozhraních tvořených vnějším povrchem krystalů nebo povrchem hranic precipitátů [1] .

K procesu získávání dochází v důsledku následujících fyzikálních účinků:

• uvolnění nečistot nebo rozpad rozšířených defektů na menší součásti;
• difúze nečistot nebo složek dislokací;
• absorpce nečistot nebo vnitřních intersticiálních atomů nějakým propadem;

Existují 3 hlavní mechanismy pro získávání nečistot:

1. Tvorba párů iontů . Když je vzorek dopován fosforem, některé nečistoty, jako je měď , jsou distribuovány takovým způsobem, že distribuční profil má tvar blízký tvaru nečistoty fosforu . Výsledkem je vytvoření neutrálních párů ve formě Cu + P - .
2. Získávání pomocí přerušených vrstev .
3. Vnitřní získávání. Nejčastěji se projevuje při iontovém dopingu . Účinek sraženin oxidu křemičitého na dislokace vede k tomu, že dislokace začnou přitahovat nečistoty těžkých kovů, čímž se povrch zbaví nečistot.

Poznámky

1. ↑ Přípravné operace. Získávání . MEPhI. Získáno 1. března 2022. Archivováno z originálu dne 1. března 2022. (Ruština)