Pomalá elektronová difrakce ( LEED ) je metoda pro studium povrchové struktury pevných látek založená na analýze difrakčních obrazců elasticky rozptýlených nízkoenergetických (20–200 eV) elektronů. Umožňuje studovat rekonstrukci povrchu .
DME lze použít jedním ze dvou způsobů:
Kinematická difrakce je definována jako jev, při kterém elektrony dopadající na dobře uspořádaný povrch krystalu zažívají jediný elastický rozptyl. Podle teorie je de Broglieho vlnová délka elektronového paprsku:
...
...
Použití nízkoenergetických elektronů pro povrchovou analýzu je způsobeno dvěma hlavními důvody.
Obrázek ukazuje schéma experimentálního uspořádání pro přímé pozorování vzorů LME. V elektronovém dělu jsou elektrony emitované katodou (která má záporný potenciál -V) urychleny na energii eV a poté se pohybují a rozptylují na vzorku v prostoru bez pole od první mřížky difraktometru a vzorku. jsou uzemněny. Druhá a třetí mřížka, které mají potenciál o něco menší než katodový potenciál (V - ΔV), slouží k odříznutí nepružně rozptýlených elektronů. Čtvrtá mřížka je uzemněna a stíní ostatní mřížky před fluorescenční clonou, která je pod potenciálem asi +5 kV. Elektrony elasticky rozptýlené na povrchu vzorku jsou tedy po průchodu zpomalovacími mřížkami urychleny na vysoké energie, aby došlo k fluorescenci stínítka, na kterém je pozorován difrakční obrazec. Jako příklad obrázek ukazuje vzor LEED z atomově čistého povrchu Si(111)7×7 .
Metoda DME umožňuje:
Metody difrakce pomalých a rychlých elektronů se liší energií použitých elektronů a podle toho i různou geometrií (u DME dopadá elektronový paprsek na zkoumaný povrch téměř kolmo a u RHEED pod úhlem skluzu asi 1). -5º). Obě metody poskytují podobné informace o struktuře povrchu. Výhodou LEED je jednodušší design a také více vizuálních a snáze interpretovatelných získaných informací. Výhoda RHEED spočívá v možnosti provádět studie přímo v průběhu růstu filmu na povrchu vzorku.
Při psaní tohoto článku byl použit materiál z článku distribuovaného pod licencí Creative Commons BY-SA 3.0 Unported :
Zotov Andrey Vadimovich, Saranin Alexander Alexandrovich. Difrakce pomalých elektronů // Slovník nanotechnologických pojmů .