Plazmové zdroje

Zdroje plazmy jsou zařízení určená k vytváření plazmy . Vytvoření plazmatu vyžaduje alespoň částečnou ionizaci neutrálních atomů a/nebo molekul média. V technologii se zpravidla používají určité typy plynových výbojů k vytvoření plazmy .

Zdroje vysokotlakého plazmatu (od 1000 Pa do atmosférického a zřídka vyššího) tlaku se nazývají plazmové hořáky nebo plazmové hořáky. V nich se zpravidla tvoří plazma ve speciální výbojové komoře, kterou je vháněn plazmotvorný plyn. Nejčastěji používaný obloukový nebo indukční výboj . Pro malé výkony (do několika kW) jsou běžné také mikrovlnné plazmové hořáky .

Plazmové zdroje pro nízké tlaky nemají společný název a jsou klasifikovány podle principu činnosti:

Plazmové zdroje mají mnoho aplikací, zejména světelné zdroje a plazmové zpracování materiálů.

Viz také

Literatura