Zarovnání zón

Aktuální verze stránky ještě nebyla zkontrolována zkušenými přispěvateli a může se výrazně lišit od verze recenzované 28. července 2021; kontroly vyžadují 3 úpravy .

Vyrovnání pásem je jednou z metod získávání čistých látek pro polovodičový průmysl.

Uspořádání zařízení pro vyrovnání zón je velmi podobné tomu pro zónové tavení , pouze v tomto případě je jednokrystalové semeno umístěno na pravý (například) konec lodi a jedna tavná zóna je vytvořena přímo vedle semínko. Přesunutím zóny tání doleva lze získat celý germaniový ingot ve formě jediného krystalu s přesně stejnou krystalografickou orientací jako zárodek. Pokud se do tavné zóny zavede dopant s distribučním koeficientem K < 1, například In , pak při průchodu tavné zóny podél celého ingotu je možné dosáhnout rovnoměrného rozložení nečistot a získat vzorky určitého typu vodivosti a s určitou koncentrací mobilních nosičů náboje v příměsovém polovodiči.

Metodou zónové nivelace lze získat monokrystaly germania s příměsí antimonu , které se v polovině délky ingotu liší měrným odporem o méně než 10 % a mají nízkou koncentraci dislokací (~1500 na 1 cm 2 ).

Viz také

Literatura