Savin, Viktor Vasilievič

Viktor Vasiljevič Savin (1927-1978) - ředitel Výzkumného technologického institutu a závodu Elion (1965-1978), laureát Leninovy ceny (1974).

Narozen 31.5.1927.

Od roku 1964 a. o. ředitel, od ledna 1965 ředitel Výzkumného ústavu přesného strojírenství (NIITM) a závodu Elion (Zelenograd).

Během svého vedení vytvořil:

vakuové stříkací instalace založené na základním modelu UVN-70A-1, elektronové zařízení ELUM-1 pro výrobu hybridních IC, zařízení pro narůstání epitaxních vrstev, laserové zařízení pro zpracování mikroelektronických produktů (1966-1967).
sada zařízení "Korund-S" pro hromadnou výrobu IO na křemíkových waferech o průměru 40 a 60 mm (1968).
vícepolohové, vícereaktorové vakuové rozprašovací zařízení pro výrobu IC (1969).
zařízení na výrobu IO na waferech o průměru 76 mm (1970).
vakuová stříkací zařízení s elektronovými a iontovými systémy (1971).
sady zařízení pro hromadnou výrobu integrovaných obvodů (1972-1974).
vysoce výkonné vakuové stříkací instalace polo- a kontinuálního provozu, automatizované výrobní linky pro fyzikální a tepelné operace, sestavy plazmochemických zařízení (1975-1977).

Kandidát technických věd.

Zemřel 7.3.1978. Byl pohřben na městském hřbitově v Zelenogradu.

V roce 1974 byl za zásluhy o organizaci Vědeckého centra pro mikroelektroniku, formování a rozvoj vědy a průmyslu v Zelenogradu jako člen týmu oceněn Leninovou cenou ( K. A. Valijev , G. Ya. Guskov , L. N. Livintsev , A. Yu. Malinin ) [1] .

Poznámky