Energeticky disperzní rentgenová spektroskopie ( EDX , EDRS nebo EDS ) je analytická metoda pro elementární analýzu pevné látky, založená na analýze energie emise jejího rentgenového spektra, varianta rentgenové spektrální analýzy .
Pomocí elektronového paprsku (v elektronových mikroskopech) nebo rentgenových paprsků (v rentgenových fluorescenčních analyzátorech) jsou atomy studovaného vzorku excitovány a emitují rentgenové záření charakteristické pro každý chemický prvek . Studiem energetického spektra takového záření lze vyvodit závěry o kvalitativním a kvantitativním složení vzorku.
Metodu energeticky disperzní rentgenové spektroskopie lze využít při studiu objektů v rastrovacím elektronovém mikroskopu nebo transmisním elektronovém mikroskopu , kde je objekt zkoumán pomocí fokusovaného svazku vysokoenergetických elektronů.
V komoře mikroskopu je vytvořeno vysoké vakuum (10 −7 mbar ) , aby se minimalizovala interakce elektronů s molekulami vzduchu. Rentgenový detektor vyžaduje chlazení, které je obvykle zajištěno buď dewarovým kapalným dusíkem nebo zařízením na bázi Peltierova jevu .
Při provozu elektronového mikroskopu svazek elektronů opouští zdroj - elektronové dělo - a je urychlován vysokým napětím. Při dopadu na předmět se část elektronů rozptýlí v závislosti na pořadovém čísle prvku a jeho prostředí v krystalové struktuře, část vybudí atomy látky předmětu, čímž dojde k emisi charakteristického záření. Analýzou energetického spektra emitovaného rentgenového záření , vznikajícího interakcí elektronového paprsku a atomů předmětu, pomocí detektoru ( krystaly Si s příměsí Li ) elektronového mikroskopu, je navíc studováno jeho složení.
Analýza jednotlivých maxim rentgenového spektra jejich umístěním (vlnová délka jednoho emisního maxima určitého prvku) a intenzitou se provádí také v související metodě vlnové disperzní rentgenové spektroskopie (WDS), která má řádově vyšší citlivost a spektrální separační výkon, ale méně rychlý.