Vyrovnávací vrstva

Buffer layer je polovodičová vrstva vyrostlá na  substrátu s jinou mřížkovou konstantou. Během růstu napjatých filmů se objevuje mnoho chybných dislokací, které kazí krystalovou strukturu vyrostlého krystalu. Ale při dostatečné tloušťce (obvykle více než mikrometr) se mřížková konstanta vyrostlého krystalu, rozříznutého sítí dislokací , přiblíží mřížkové konstantě nenapjatého materiálu, na kterém je již možné pěstovat kvalitní struktury. .