Mikrosonda je zařízení pro provádění rentgenové spektrální mikroanalýzy (určení atomového složení látky v malém objemu).
Princip činnosti mikrosondy je následující: generuje se elektronový paprsek , který je sbírán elektromagnetickými čočkami do úzkého paprsku - elektronové sondy. Když se elektrony dostanou do vzorku, vyrazí elektrony z obalů atomů látky a vytvoří charakteristické rentgenové záření . Každý prvek vyzařuje na své charakteristické sadě frekvencí a lze jej podle toho identifikovat. Koncentrace prvků se určují z intenzity záření.
V současné době je mikrosonda obvykle variantou rastrovacího elektronového mikroskopu , který je optimalizován pro rentgenovou spektrální analýzu. Většina mikrosond tedy může plnit i funkce elektronového mikroskopu.
Pro provedení kvantitativní analýzy mikrosondou je nutné povrch vzorku vyleštit a vyčistit. nepravidelnosti vedou k atypickému rozptylu rentgenového záření a významným chybám při určování koncentrace prvků. Aby se zabránilo akumulaci náboje na povrchu dielektrického vzorku, je na něj nanesen tenký vodivý film, obvykle uhlík .