| SMIF | |
|---|---|
| Nádoba SMIF POD na 6" wafery (200 mm) | |
| Tvůrce | Hewlett Packard |
| Vytvořeno | 80. léta 20. století |
SMIF (zkr. z angličtiny Standard Mechanical InterFace - Standard Mechanical Interface) - SEMI standard ( anglicky ) E19-1105 [ 1 ] pro mechanická zařízení pro automatizovanou mikroelektronickou výrobu. Zásobníky SMIF umožňují skladování a přemísťování stohů plátků mezi instalacemi při zachování zvýšené čistoty.
Technologie byla vyvinuta v 80. letech v Hewlett-Packard , Palo Alto (systém „mikronautů“) pro použití v čistých prostorách. Kontejnery SMIF ( anglicky SMIF Pod ) se používají pro skladování a přepravu několika polovodičových waferů ve speciální kazetě ( anglicky wafer cassette ). Uvnitř nádoby je zachován vyšší stupeň čistoty . Desky jsou vodorovné. Na dně kontejneru jsou dvířka, kterými se desková kazeta vkládá a vyjímá z kontejneru.
Účelem SMIF je dále izolovat desky, aby se nešpinily. Práce s kontejnery, nakládání a vyjímání waferů z nich je prováděno automatizovanými nakládacími zařízeními, která jsou součástí procesního zařízení (například stepper může mít 2 SMIF porty pro kontejnery: jeden pro neupravené wafery a druhý pro zpracované wafery). Nakládání desek tedy nevyžaduje operace prováděné přímo osobou. Vnitřní prostředí uvnitř kontejneru a zařízení nepřichází do styku s vnějšími proudy vzduchu.
Kontejnery mají identifikační prvky (číslo, čárový kód, elektronické štítky). Jejich tělo je vyrobeno z plastu. Kontejnery mohou být přepravovány lidmi nebo robotickými systémy (nazývanými AMHS , od Automated Material Handling System ; např. nadzemní jednokolejné systémy [2] )
SMIF se používá při práci s břitovými destičkami do průměru 200 mm. Pro větší destičky (300 a 450 mm) platí norma FOUP ( Front Opening Unified Pod ; SEMI E47.1-1106 ) .
Kromě práce s deskami lze nádoby využít i pro práci s fotolitografickými maskami .