Vakuové ventily jsou potrubní ventily , které zajišťují výkon svých funkcí při provozních absolutních tlacích nižších než 0,1 MPa (1,0 kgf / cm² ) [1] . Zahrnuje pomocná, obvykle typická zařízení vakuových systémů, včetně: [2]
Vakuové armatury vyžadují velmi vysokou těsnost všech jejích částí a spojů a velmi malou separaci plynu od jejích stěn a těsnění . Spoje nízkovakuových armatur jsou utěsněny vakuovými pryžovými těsněními, pohyblivé tyče jsou utěsněny ucpávkami speciální konstrukce. V systémech vysokého a velmi vysokého vakua se měchy běžně používají pro pohyblivé tyče ; těsnění pro armatury s ultravysokým vakuem se vyrábí ze speciálních jakostí žáruvzdorné pryže, některých typů plastů a tažných kovů [2] .
Pohon vakuových ventilů a uzávěrů může být ruční (označení resp. KSVR, ZSVR), elektropneumatický (KSVP, ZSVP), elektromagnetický (KSVM) [3] .
Teoretická (v molekulárním módu) vodivost U , l / s , pro vzduch ( M = 28,8, T = 300 K ) je: [3]
Toky plynu ve viskózním a molekulárně-viskozitním režimu lze vypočítat na základě teorie podobnosti ; u geometricky podobných systémů závisí vodivost na ploše průřezu, poměru efektivní délky a průměru, adiabatickém indexu plynu, Kn čísle a v menší míře na Re a M číslech [4 ] .