Fizeauův interferometr je typ vícepaprskového interferometru , ve kterém dochází k interferenci mezi dvěma odrazivými povrchy. Fizeauův interferometr je často označován jako interferometr se společnou dráhou světelných paprsků, protože paprsky se šíří společně až k referenčnímu (poloprůhlednému) povrchu.
Používá se především ke kontrole přesnosti výrobních povrchů optických dílů a optických systémů.
Fizeau interferometry pro testování plochých povrchů byly průmyslově vyráběny v SSSR : IIP-15, IT-40, IT-70 IT-100, IT-200; a pro kontrolu konvexních ploch KYU-153, KYu-210, KYu-211, dále univerzální interferometr IKD-110 [1] - který umožňuje ovládat jak ploché, tak i konvexní a konkávní plochy. V současné době se v Rusku vyrábí interferometr FTI-100 [2] vybavený systémem fázového posunu pro záznam interferogramů a také interferometrem pro sledování plochých povrchů M200 [3] .
Pokud je referenční a řízený povrch pokryt zrcadlovou vrstvou s koeficientem odrazu asi 80–90 %, pak se namísto dvoupaprskového interferenčního obrazce získá vysoce kontrastní vícepaprskový interferenční obrazec.
Svazek paprsků vycházející ze zdroje koherentního záření je zaostřen mikroobjektivem a přeměněn na divergentní paprsek, který je po průchodu děličem paprsků přeměněn kolimačním objektivem na rovnoběžný paprsek. V ohnisku mikroobjektivu je často nastavena dírka, která jako prostorový frekvenční filtr zlepšuje rovnoměrnost paprsku.
Pro ovládání plochých a konvexních ploch se používají referenční nástavce, což jsou čočky, jejichž poslední plocha, která je standardní, je soustředná se svým ohniskem. Referenční nástavec se instaluje za kolimační objektiv a testovaný povrch se instaluje za referenční nástavec tak, aby se jeho střed zakřivení kryl s ohniskem referenčního objektivu.
Pro testování rovných povrchů se jako referenční používá klínovitá deska, povrch směřující k testovanému povrchu je referenčním povrchem.
Referenční a řízené plochy jsou nastaveny tak, aby byla zajištěna autokolimační dráha paprsků v interferometru. V opačném směru se paprsky odražené od etalonu a kontrolované plochy vracejí zpět přes kolimační čočku a odražené od děliče paprsků (průsvitné zrcadlo) vytvářejí interferenční obrazec z pruhů stejné tloušťky v rovině opticky konjugované s rovinou kontrolovaného povrchu.